设备详情

三维原子探针（3DAP）又叫原子探针层析技术（APT）是目前唯一一种可提供原子级三维立体图像和化学成分度量的材料分析技术，深度分辨率可达0.1-0.3nm，横向分辨率可达0.3-0.5nm，处于原子尺度显微镜的前沿，特别适合于研究纳米尺度的微小结构(沉淀、团簇、GP区等)的尺寸、分布及成分，以及元素在各种内界面(晶界、相界、多层膜结构中的层间界面等)的偏聚行为。其工作原理是给针尖形状的样品加上一个基本高电压并辅以电脉冲或激光脉冲使得样品中的原子逐个被场离化。离化后的离子进入飞行时间质谱仪到达具有二维位置分辨功能的探测器上并记录飞行时间，到达时间以及二维位置。通过计算机模拟技术得到组成样品的各种元素原子在空间的分布图，从而进一步进行定量分析。

该技术提供了独有的材料在小体积内原子级分辨率的元素分布层析图，随着设备的不断发展，分析体积不断增大，用途显著并稳定扩展，包括金属、半导体器件、纳米材料、矿物、以及有机和生物材料等。

设备性能参数：

样品温度 Specimen temperature：25 K - 100 K

离子收集率 Detection efficiency：50%

激光能量 Laser energy：1-1000 pJ

空间分辨率 Resolution：0.1 nm

环形视场 Field of View：> 150 nm

最高脉冲频率 Maximum Pulse Repetition Rate：500 kHz

最大数据采集速率 Maximum Data Collection Rate：4M ions/ min

分析室真空度 Analysis Chamber Vacuum：< 1x10-10 Torr

质量分辨率 Mass Resolution：1:1000 (半高峰宽FWHM)；1:475 (10%峰宽FWTM)；1:275(1%峰宽FW1%M)

设备原理：

唯一一种既可以提供三维立体图像，又可以提供化学成分信息的，原子级空间分辨率的测量分析技术。

应用举例：

地点：主楼-172

联系人：朱绘卉

电话：62332205