电子探针显微分析仪（简称电子探针，EPMA）是一种电子束显微分析仪器，主要用于对固体样品进行无损化学分析，更重要的是，电子探针能够通过波谱仪（WDS）获得非常微小区域（1~2 μm）的精确、定量的元素分析，显微尺度的成分分析结合图像观察，使电子探针能够对材料复杂的形貌和化学成分进行原位分析。

新金属材料全国重点实验室的电子探针显微分析仪EPMA-8050G由日本岛津公司生产，现已开放测试。本仪器具有以下特点：搭载肖特基发射体，可得到比以往更高空间分辨率及更大电流的元素分布图像。继承了岛津EPMA 特有的52.5°X射线取出角，可进行高灵敏度的x射线测量。高速稳定运行的样品台，可高精度设定分析位置和分析范围。配备各种自动功能和联动功能，可以方便地设定电子束。集多年分析经验于一体的控制·分析软件，从数据收集到数据解析乃至报告生成，均实现浅显易懂且直观的操作环境。配备“简单模式”，轻松完成从SEM图像观察到定性分析和面分析。可通过数据浏览器程序轻松进行数据的统一管理。

主要功能：

非破坏性重复分析

精细结构分析

微米尺度的空间分辨分析

高准确性定量分析

高准确性轻元素分析

高敏感性微量元素探测

X射线临近光谱的高分辨能力

分析模式：

元素的定性分析

元素的定量分析

元素的线分布分析

元素的面分布分析

主要技术指标：

发射源：肖特基发射体

元素探测范围：5B～92U

加速电压：0.5～30kV

二次电子分辨率：3nm（30kV）

物镜光阑：固定式（无需切换）

束流：0.2nA~3μA（30KV）

探针电流稳定性：±0.3%/h以下（10KV、50nA）

放大倍数：×40～400,000

最大样品尺寸：100mm×100mm×50mm

实验室地点：主楼171

联系电话：衣凤，15810863676

电子探针系统应用举例Application Examples

定性分析（Qualitative analysis）：

   定量分析（Quantitative analysis）：

    线分布分析（Line analysis）：

     面分布分析（Map analysis）：