设备详情

主要参数：HELIOS 5UX

生产厂家：赛默飞世尔科技有限公司

放置地点：主楼169

联 系 人：乔祎

电  话：13661129664

邮  箱：qiaoyi@ustb.edu.cn

技术特点：

高性能聚焦离子束系统（FIB）集成了电子束（SEM）和镓离子束（FIB），可同时在线观测，具有束流稳定、分辨率高、操控精准的特点。它能够在纳米尺度分辨率下，实现对各类材料在常温和低温环境中的三维形貌、晶体结构、相组织的高质量、高稳定性观察分析，以及微区化学成分的定性与定量检测。

主要功能：

1、SEM形貌分析：各类材料（金属、半导体、陶瓷、高分子、聚合物等）的形貌观察、分析及3D形貌重构。

2、EDS成分分析： 材料微区成分分析及3D成分重构。

3、EBSD晶体分析：多晶材料的晶体取向、织构分析及 3D 取向重构；支持能谱 (EDS) 与EBSD同步采集。

4、FIB微纳加工：在SEM实时监控下进行微纳结构样品制备，包括：特定区域（如晶界、析出相、多层膜）的TEM和APT样品制备，微观截面截取与观察，微区刻蚀与沉积。

5、冷冻 FIB：配备液氮冷台（77K），延缓环境及Ga离子热效应对材料的影响。