设备详情

规格型号： GeminiSEM450  生产厂家： 美国ZEISS/英国OXFORD

放置地点： 主楼168    联 系 人： 宫家欣

电 话： 18401650351

主要功能

配备电子背散射衍射(EBSD)和电子通道衬度成像(ECCI)功能，可实现对材料晶体结构和缺陷的高精度表征。

技术参数

加速电压 0.02～30 kV

探针电流 3 pA～40 nA (大束流40 nA)

分辨率 0.6 nm 30 kV (STEM)

0.7 nm 15 kV

1.1 nm 1 kV/500 V TD

1.5 nm 200 V

分析分辨率 2.0 nm 15 kV, 5 nA, WD=8.5 mm

高分辨率模式最大观察视野 在5 kV下5 mm，WD=8.5 mm

放大倍率 8 – 2,000,000