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Zeiss Auriga聚焦离子束场发射扫描双束电镜对外服务公告

北京科技大学新金属材料国家重点实验室Zeiss Auriga聚焦离子束场发射扫描双束电镜(FIB),配有电子束和Ga离子束,具有束流稳定、分辨率高、纳米操控精确的特点,是国际最顶级的纳米结构分析和材料微纳结构制备的先进设备。

FIB主要功能有:

1.       场发射扫描电镜(SEM):各种材料形貌观察和分析,如金属、半导体、陶瓷、高分子材料、有机聚合物等,放大率:12×1000,000×;分辨率1.0nm @ 15kV1.9 nm @ 1kV

2.        X射线能谱分析仪(EDS材料微区成分分析;MnKa峰的半高宽优于127eVCKa峰的版高宽优于56Ev;FKa峰的半高宽优于64eV;元素Be4-U92;

3.        3D背散射电子取向成像系统(EBSD):多晶材料的晶体取向和织构分析和3D重构;空间分辨率:优于50nm;探测器灵敏度: 加速电压在3KV时,束流小于50pA能采集到花样;解析速度最大可达600/s;测试能谱和EBSD 同步采集和一体化功能,选取实际样品进行三维EDS & EBSD测试;

4.        聚焦离子束系统(FIB):材料微纳结构的样品制备,制备的样品有:SEM在线观察下进行的TEM样品和纳米线的沉积固定等,放大率:300×500,000×;分辨率2.5nm @ 30kV

 

Zeiss Auriga聚焦离子束场发射扫描双束电镜(FIB)设备已调试完成,现正式对外运行开放,实验室位于主楼一层165 房间。根据国内和校内同类设备定价,FIB对外服务收费定为:

实验功能

SEM

EDS

EBSD(不含3D

FIB

价格

500/小时

500/小时

600/小时

2000/小时

欢迎广大师生前来实验,联系电话:6233263462332350

北京科技大学新金属材料国家重点实验室

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